紘岳科技實業有限公司

致冷晶片式恆溫槽
水冷式晶片溫控水槽規格表
為響應節能、省電及環保目標，使用晶片式控溫，無冷媒合乎綠能環保，無壓縮機系統安靜低噪音。

1. 系統異常報警： 溫度、流量、水位…等。
2. 選配通訊功能： 類比 / RS232 / RS485。
3. 客製化設計： 配合客戶需求設計機台大小，符合各家MO源尺寸。

致冷晶片式溫控平台
晶片溫控平台規格表
製冷式晶片 6~8 inch -40~160 ℃ 溫控平台
供 wafer 快速升降溫、wafer 恆溫製程、 chip 點測與壽命測試使用。

1. 系統異常報警： 溫度、流量、水位…等。
2. 選配通訊功能： 類比 / RS232 / RS485。
3. 客製化設計： 配合客戶需求設計測試平台大小。

致冷晶片式溫控冰水機
晶片溫控冰水機規格表
搭配各製程僅有侷限空間但需要降溫系統的設備中
提供分離式控制器設計，在侷限空間中置入降溫設備。

1. 系統異常報警： 溫度、流量、水位…等。
2. 選配通訊功能： 類比 / RS232 / RS485。
3. 客製化設計： 配合客戶需求，提供分離式或一體式機台設計。

自動化傳送系統
自動化設備說明
按照客戶需求，依設備實際使用狀況，規劃設計自動化傳送系統，簡化人員操作，提升生產效率。

1. 使用 Robot 進行真空環境傳送
2. 真空腔體設計
3. PLC 程式設計
4. 伺服馬達規劃設計

數據採集系統
監控系統架構說明
依設備使用情況與客戶需求，搭配HMI人機介面、PLC控制器及適合的感測器元件，建立即時資訊與異常狀況採集。

1. 建置中央管理系統，統一管理跨廠區資訊
2. HMI人機介面、PLC控制器
3. 搭配適合的感測器元件
4. 異常狀況紀錄查詢